基于时间序列图像的MEMS结构试验模态分析与动力学特征参数识别

MEMS（微电子机械系统）是用以实现一定功能的微电子机械装置，通常包括微传感器、微处理器和微执行器等。目前，可以通过微机械加工、电铸成型和硅基加工技术等制造MEMS器件。其中微型弹性结构或机构是构成MEMS中运动部件的主要单元，运动部件的动力学特性是决定系统能否实现预定功能的重要因素。因此，微结构的动力学特性已成为MEMS稳定性和可靠性研究的重要课题。然而，就微结构动力学研究而言，目前主要还依赖于数值模拟，至今还没有一套系统的用于微结构动力学特征参数分析的试验方法。本项目将利用基于三维显微测量和高速数字图像采集技术研制成功的高速三维数字显微镜，根据所拍动态序列图像直接测量微结构的全场动态变形,研究基于微结构全场动态变形序列图像的微结构模态分析与动力学特征参数识别方法；研究典型弹性微结构（如梁、桥、微镜、梳齿结构等）动力学特性试验方法和分析技术，为微结构动力学特性研究提供可靠的实验分析手段。